壓電材料是制作微電機的理想材料。這是因為壓電材料僅加電場就能自己產生變形。壓電性薄膜可以通過許多途徑獲得，方便地制成微小主動結構體。利用壓電材料制作有三種方法：
1、利用壓電材料本身的變形，在很小行程下(微米以下)工作；
2、應用杠桿原理或與彈性體結合成復合結構(如：雙壓電晶片、蘭杰文振子)，擴大壓電材料本身的變形(幾百微米以下)；
3、將壓電陶瓷產生的變形設法無限延長。這主要有三種類型，利用共振生成行波或駐波的超聲波電機，組合成箱位結構的蠕動式電機，利用慣性停/滑原理的慣性式電機。
微電機中，壓電式和電磁式輸出功率較大，產業化前景較好。
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